AZO靶材即在Zno体系中掺杂Al,通过溅射得到Zno:Al透明导电薄膜,即AZO薄膜,掺杂后薄膜导电性能大幅度提高,广泛用于制备太阳能电池透明导电层薄膜、低辐射LOW-E膜等。
2021-06-28 面议/个
AZO 靶材即在Zno体系中掺杂Al,通过溅射得到Zno:Al 透明导电薄膜,即AZO薄膜,掺杂后薄膜导电性能大幅度提高,广泛用于制备太阳能电池透明导电层薄膜、低辐射玻璃LOW-E膜等。
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